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四方光電(武漢)儀器有限公司為四方光電股份有限公司(688665.SH)的全資子公司,前身為成立于2010年的湖北銳意自控系統(tǒng)有限公司,是一家專業(yè)提供氣體成分及流量測(cè)量方案的高新技術(shù)企業(yè),服務(wù)于環(huán)境監(jiān)測(cè)、過(guò)程氣體監(jiān)測(cè)、智慧計(jì)量等領(lǐng)域?! 』谒姆焦怆姾诵臍怏w傳感技術(shù)平臺(tái)的優(yōu)勢(shì),四方儀器開(kāi)發(fā)了系列非分光紅外(NDIR)、紫外差分吸收光譜(UV-DOAS)、激光拉曼(LRD)、超聲波(Ultrasonic)、熱導(dǎo)(TCD)、光散射探測(cè)(LSD)等技術(shù)原理的氣體成分流量?jī)x器儀表,產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于環(huán)境...

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第30屆聯(lián)合國(guó)氣候變化大會(huì)(COP30)于2025年11月在巴西貝倫市舉行,在海洋相關(guān)的議題中,“藍(lán)色碳匯"的重要性被提升至新的高度。在COP30“中國(guó)角"舉行...
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一、半導(dǎo)體制造中氧監(jiān)測(cè)的重要性與難點(diǎn)在半導(dǎo)體制造過(guò)程中,氧污染會(huì)引發(fā)不必要的氧化反應(yīng),導(dǎo)致集成電路和硅片產(chǎn)生缺陷,進(jìn)而破壞薄膜結(jié)構(gòu)的完整性,嚴(yán)重影響產(chǎn)品的均勻性與可靠性。因此,半導(dǎo)體制造商必須對(duì)工藝氣體及設(shè)備腔室中的氧含量進(jìn)行嚴(yán)格監(jiān)控,即便是微量氧氣(低至ppm級(jí))也可能顯著損害元件性能。目前,半導(dǎo)體工藝氣體中的氧監(jiān)測(cè)主要面臨以下技術(shù)難點(diǎn):需實(shí)現(xiàn)10ppm以下超低濃度氧的精確檢測(cè);需支持真空環(huán)境下的持續(xù)氧濃度監(jiān)測(cè);需在還原性氣氛中確保設(shè)備安全穩(wěn)定運(yùn)行。在眾多氣體檢測(cè)技術(shù)中,氧...
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